LCP-25 مقياس Ellipsometer التجريبي
مقدمة
يستخدم مقياس الاستقطاب البيضاوي اليدوي طريقة الانقراض لقياس سمك ومعامل الانكسار للفيلم ، وينظم يدويًا زاوية الانحراف والانحراف لعملية الاختبار. يستخدم مقياس Ellipsometry على نطاق واسع في قياس الأغشية الرقيقة العازلة للكهرباء على الركيزة الصلبة. في طريقة قياس سمك الفيلم ، يمكن قياسه بأرق وأعلى دقة.
تحديد
| وصف | تحديد |
| نطاق قياس السماكة | 1 نانومتر ~ 300 نانومتر |
| نطاق زاوية الحادث | 30º ~ 90º ، خطأ ≤ 0.1º |
| زاوية تقاطع المستقطب والمحلل | 0º ~ 180 درجة |
| مقياس الزاوي للقرص | 2º لكل مقياس |
| دقيقة. قراءة فيرنير | 0.05 درجة |
| ارتفاع المركز البصري | 152 ملم |
| قطر مرحلة العمل | Φ 50 ملم |
| الابعاد الكلية | 730x230x290 ملم |
| وزن | حوالي 20 كجم |
قائمة الأجزاء
| وصف | الكمية |
| وحدة Ellipsometer | 1 |
| هي-ني ليزر | 1 |
| المضخم الكهروضوئي | 1 |
| خلية الصورة | 1 |
| فيلم السيليكا على ركيزة السيليكون | 1 |
| قرص مضغوط لبرنامج التحليل | 1 |
| كتيب التعليمات | 1 |
اكتب رسالتك هنا وأرسلها إلينا
